年度	2014
全部作者	蔡春进,Tzu-Ming Chen, Chuen-Jinn Tsai, Shaw-Yi Yan, Shou-Nan Li
论文名称	An Efficient Wet Electrostatic Precipitator for Removing Particle and Nanoparticles in Semiconductor Manufacturing Processes
期刊名称	Separation and Purification Technology
卷数	136
页码	27-35
发表日期	2014-11-01
语言	中文