年度	2010
全部作者	白曛绫,B.-J. Wu, H. Bai*, I-K. Lin, S.S. Liu
论文名称	Al-Cu Pattern Wafer Study on Metal Corrosion Due to Chloride Ion Contaminants
期刊名称	IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
卷数	23
期数	4
页码	553-558
语言	中文