年度 | 2012 |
---|---|
全部作者 | 白曛綾,B.-J. Wu, H. Bai*, I-K. Lin, H.-H. Liu |
論文名稱 | Metal Corrosion of Al-Si-Cu Pattern Wafer Due to Airborne Molecular Contaminant of HCl |
期刊名稱 | Aerosol and Air Quality Research |
卷數 | 12 |
期數 | 1 |
頁碼 | 104-112 |
語言 | 英文 |
登入 陽明交大環工所
年度 | 2012 |
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全部作者 | 白曛綾,B.-J. Wu, H. Bai*, I-K. Lin, H.-H. Liu |
論文名稱 | Metal Corrosion of Al-Si-Cu Pattern Wafer Due to Airborne Molecular Contaminant of HCl |
期刊名稱 | Aerosol and Air Quality Research |
卷數 | 12 |
期數 | 1 |
頁碼 | 104-112 |
語言 | 英文 |