年度	2018
全部作者	蔡春進,Bo-Xi Liao, Neng-Chun Tseng, Ziyi Li, Yingshu Liu, Jen-Kun Chen, Chuen-Jinn Tsai*
論文名稱	Exposure Assessment of Process By-product Nanoparticles Released during the Preventive Maintenance of Semiconductor Fabrication Facilities
期刊名稱	Journal of Nanoparticle Research
卷數	20 (7)
頁碼	203-
語言	英文