年度	2014
全部作者	蔡春進,Tzu-Ming Chen, Chuen-Jinn Tsai, Shaw-Yi Yan, Shou-Nan Li
論文名稱	An Efficient Wet Electrostatic Precipitator for Removing Particle and Nanoparticles in Semiconductor Manufacturing Processes
期刊名稱	Separation and Purification Technology
卷數	136
頁碼	27-35
發表日期	2014-11-01
語言	中文