年度	2010
全部作者	白曛綾,B.-J. Wu, H. Bai*, I-K. Lin, S.S. Liu
論文名稱	Al-Cu Pattern Wafer Study on Metal Corrosion Due to Chloride Ion Contaminants
期刊名稱	IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
卷數	23
期數	4
頁碼	553-558
語言	中文